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鈦合金TC4材料的組成為Ti-6Al-4V,屬于(α+β)型鈦合金,具有良好的綜合力學機械性能。比強度大。TC4的強度sb=1.012GPa,密度g=4.51g/cm3,比強度sb/g=23.5,而合金鋼的比強度sb/g小于18。鈦合金熱導率低。鈦合金的熱導率為鐵的1/5、鋁的1/10,TC4的熱導率l=7.955W/m·K。
線膨脹系數=8.6*10-6℃(0-100℃),比熱=0.612j/g·℃。鈦合金的彈性模量較低。TC4的彈性模量E=110GPa,約為鋼的1/2,故鈦合金加工時容易產生變形。其泊松比為0.34。TC4(Ti-6Al-4V)和TA7(Ti-5Al-2.5Sn)鈦合金,采用兩種注入方案進行表面改性,試驗表明,鈦合金經離子注入后,提高了顯微硬度,顯著地降低了滑動摩擦系數,有效地提高了耐磨性.為探明其改性機理,對注入與未注入樣品進行了X射線光電子能譜(XPS)分析,獲得滿意的結果。
兩種鈦合金都分別采用兩種注入方案:
?、僭赥C4及TA7鈦合金試件上濺射鍍Ti,Ti膜總厚度為540nm(5400A).在鍍Ti膜過程中,同時用(N++N+2)進行動態反沖注入,束流能量為50keV,束流密度為45μA/cm2,劑量為7*1017/cm2,靶室真空度為1.33*10-2Pa;
?、谠冖俚幕A上,再注入C+,束流能量為40keV,劑量為3*1017/cm2。
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